R 型铂铑热电偶是 JIS 标准规定的贵金属测温元件，凭借优异耐高温性能与测温精度，被广泛应用于半导体扩散炉、CVD 炉等高温工艺设备。但传统 R 热电偶长期处于高温载荷、反复升降温工况下，线材容易发生晶粒粗大、蠕变变形，最终出现断线故障；行业常规改良方案一般通过掺杂杂质提升线材强度，杂质添加又会造成热电势漂移，牺牲测温精度，强度与精度长期难以兼顾。
日本 FURUYA METAL 古屋金属依托多年贵金属材料研发积淀，自主研发R-SP 强化型 R 热电偶，不添加任何杂质元素，依靠独创材料设计与制造工艺，同步实现高蠕变强度与原始测温精度，为半导体高温精密测温场景提供全新方案。
一、核心技术原理：改善金属晶粒组织，抵御高温蠕变
高温持续载荷作用下，传统 R 热电偶线材内部晶粒会局部长大，晶界滑移持续发展，引发蠕变断裂。
古屋金属通过特殊加工工艺重塑线材金相结构，使 R-SP 热电偶线材形成连续拉长的稳定晶粒组织。通过金相对比试验可见：
常温、1400℃加热、加速老化测试后，传统 R 热电偶晶粒显著粗化、出现明显晶界裂纹；而 R-SP 线材依旧保持均匀延伸晶粒结构，有效抑制高温下晶粒异常生长，延缓蠕变破损进程。
二、实测性能优势
蠕变强度提升约 2 倍，延长使用寿命
1100℃环境蠕变强度试验数据证明：同等线材直径、同等载荷条件下，R-SP 强化型 R 热电偶发生断裂的时间远长于传统 R 热电偶，线材蠕变强度达到普通 R 热电偶约 2 倍，大幅减少炉体长期运行过程中热电偶断线停机风险。
长期高温使用，测温漂移更小
在 1200℃长达 2310 小时高温暴露漂移测试中，R-SP 热电偶温漂控制在 Class1 精度区间内。在保留标准 R 热电偶同等原始测温精度前提下，长时间持续高温工作依旧维持稳定测量性能，保障半导体工艺温度管控一致性。
三、专属压接接合工艺，保留线材强化特性
常规熔融焊接工艺会熔化热电偶端头线材，破坏 R-SP 特有的拉长晶粒组织，削弱强化效果。
为此古屋金属开发专属 Pt 套管压接接合工艺：减少线材熔融区域，采用铂套管包裹线材压接成型，完整保留 R-SP 线材强化金相组织，避免焊接带来的性能衰减，充分发挥线材本身抗蠕变优势。
四、典型应用场景
R-SP 强化型 R 热电偶专为对温控可靠性要求严苛的前沿半导体制造工艺打造，适配扩散炉、CVD 炉等高温管式设备。能够有效降低产线传感器更换频次，减少因热电偶断线导致的工艺中断、批次报废问题，提升半导体产线稼动率。
作为半导体贵金属测温元件供应商，FURUYA METAL 古屋金属可实现热电偶线材制造、组件装配、温度校准一体化交付，除 R-SP 强化型热电偶以外，同时配套 L 型石英保护管热电偶、SiC 保护管热电偶、晶圆热电偶、高纯石英加工件等系列产品，覆盖半导体各类高温测温需求。
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2026/8/1
