在半导体晶圆制造流程中，扩散炉、CVD 炉等工艺设备对温度控制精度有着严苛标准。炉内温度的均匀性、测量准确度，直接决定晶圆成品品质与生产良率，热电偶作为核心测温元件，是半导体热工艺环节不可或缺的关键器件。

         日本 FURUYA METAL 古屋金属依托贵金属材料研发优势，深耕半导体专用测温传感器领域，可提供全系列半导体制造专用热电偶产品，同时配套高纯石英精密加工零部件，实现从热电偶线材生产、总成装配到温度校准一体化服务，满足半导体工厂高标准洁净生产需求。

1、核心热电偶产品系列

（1）SiC 保护管型热电偶

产品采用 SiC 材质保护管结构，适配半导体扩散炉、CVD 炉长期高温工况，具备优异耐高温、耐工艺气氛侵蚀特性，广泛用于管式炉体内部定点温度采集。

（2）L 型石英保护管热电偶

标配高纯石英保护套管，是扩散炉、CVD 炉经典测温配置。L 型弯折结构适配管式炉安装布局，材料纯度高，能够最大程度规避高温下杂质析出污染晶圆，适配洁净半导体产线环境。

（3）Spike 探针式热电偶（スパイク熱電対）

主要应用于扩散炉、CVD 炉加热器闭环温控。纤细的探头结构可以实现快速热响应，实时反馈加热器温度变化，保障炉体升温、恒温阶段温度稳定可控。

（4）晶圆热电偶（ウエハ熱電対）

专为硅片、玻璃晶圆表面温度分布测试开发。热电偶可以贴合晶圆表面，直接测绘整片晶圆的温度分布曲线，用于新机台验证、工艺窗口调试、炉体温度均匀性校正，是半导体工艺开发的重要测试传感器。

除此之外，古屋金属自研R-SP 强化型 R 热电偶，针对标准 R 型热电偶进行洁净性能升级，提升贵金属热电偶抗污染能力，适配半导体严苛洁净制程。

2、高纯石英加工配套件

除各类热电偶传感器之外，FURUYA METAL 古屋金属同步配套半导体用石英加工制品，包含热电偶石英保护套管、石英钟罩、石英腔体配件等。

全部石英零部件在洁净车间内完成精密加工，严控杂质产生，有效防止异物混入工艺腔体，和品牌热电偶产品配套使用，形成完整的高温测温配套方案。

3、方案应用价值

半导体扩散、化学气相沉积工艺对测温元件提出三重要求：测温精度、洁净度、高温耐久性。

FURUYA METAL 古屋金属依托自身贵金属材料积淀，一体化管控热电偶原材料、组装工艺与出厂校准；丰富的产品线覆盖炉体固定测温、晶圆表面测温、加热器温控等多种场景，可为国内半导体扩散、薄膜沉积工艺产线提供稳定可靠的温度测量方案。

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2026/8/1