日本 MTL(Microtech Laboratory)MDH-6012 属于φ60 法兰系列中空轴直驱 DD 马达,以零背隙、角秒级定位、大扭矩密度、中空贯通布线为核心优势,专为半导体、机器人、光学检测等高端精密设备打造,是小体积、大扭矩、高精度驱动场景的理想选择。
一、核心规格参数(原厂标准)
1. 机械与尺寸
外径:φ60mm(标准法兰安装)
机身长度:37.5mm
中空孔径:φ20mm(线缆 / 气管贯通)
重量:约 480g
轴承:高刚性双列交叉滚子轴承
径向跳动:≤0.008mm
轴向承载:≥50N,径向承载:≥80N
2. 扭矩与转速
峰值扭矩(瞬时最大):2.1N・m
连续额定扭矩:0.58N・m
最高转速:300rpm
额定转速:300rpm
转子惯量:约 65g・cm²
3. 编码器与精度(核心优势)
编码器类型:内置20 位高精度光学增量编码器マイクロテック・ラボラトリー
原始分辨率:500,000 P/R
4 倍频后分辨率:2,000,000 P/R(200 万脉冲 / 圈)
重复定位精度:≤±0.8 角秒(角秒级)
绝对定位误差:≤±1.0 角秒
线性度误差:≤±0.02%
信号输出:A+/A-/B+/B-/Z+/Z- 差分线驱动
响应频率:≥400kHz
4. 电气与环境
供电:DC24V ±10%
连续额定电流:1.7A
峰值电流:7.5A
工作温度:-10℃ ~ +60℃
抗振动:196m/s²(20G)
防护等级:IP10(标准),可定制 IP65
磁极数:16 极
二、核心技术特点
1. 零背隙直驱结构
采用无齿轮、无联轴器、无传动带的直驱设计,转子与负载直接刚性连接,彻底消除传统传动的背隙、回程误差与机械磨损,定位精度不受传动环节损耗,实现全生命周期精度稳定。
2. 2.1N・m 高扭矩密度(φ60 体积)
在 φ60mm 小体积内实现2.1N・m 峰值扭矩,依托高性能稀土永磁体 + 高密度绕组技术,扭矩密度远超同规格普通伺服与步进电机,低转速下输出大扭矩,低速平稳、无抖动、无 cogging(齿槽效应),适配精密旋转、分度、定位工况。
3. φ20mm 中空贯通设计
φ20mm 大中空孔径支持电机线缆、传感器线、气管、光纤等从中心贯通布线,解决设备内部布线杂乱问题,减少外部线缆干扰,提升设备整洁度与运动灵活性,特别适配机器人关节、旋转平台、晶圆台等需内部走线的场景マイクロテック・ラボラトリー。
4. 角秒级超高精度定位
内置 MTL 原厂20 位(200 万脉冲)光学编码器,配合高精度交叉滚子轴承与零背隙结构,重复定位精度达 ±0.8 角秒以内,可满足半导体光刻、晶圆对位、光学检测、精密测量等微米 / 亚微米级定位需求。
5. 高动态响应与稳定性
低转子惯量设计,小角度阶跃响应≤5ms
定位超调量≤0.1 角秒,无震荡、无过冲
正反转切换无回程误差,切换响应≤8ms
扭矩波动≤0.5%,全角度旋转平稳
6. 高刚性与长寿命
三、典型应用场景
MDH-6012 凭借小体积、大扭矩、中空布线、角秒级精度,广泛适配以下高端设备:
半导体设备:晶圆对位台、探针台、划片机、固晶机、封胶机旋转轴
机器人与自动化:协作机器人关节、SCARA 机器人第四轴、精密旋转夹爪、自动化分度盘
光学检测仪器:高精度检测转台、光谱仪旋转台、3D 轮廓仪、视觉检测旋转平台
3C 电子制造:精密点胶机、贴合机、激光打标机、FPC 柔性电路检测平台
医疗与精密仪器:手术机器人关节、光学诊疗设备、精密分析仪器旋转驱动
航空航天与精密制造:航空仪表检测台、微型精密转台、高精度角度标定装置
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2026/04/03