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不接触药液!KAMEOKA CLA-A03-1 电容传感器,罐外贴装测液位


在半导体湿法清洗、精细化工、新能源材料等高端产线中,高纯药液、腐蚀性试剂的液位监测一直是工艺管控难点。传统浸入式液位传感器需要伸入罐内,不仅探头容易被药液腐蚀、结垢,更换传感器时还有污染整罐药液的风险;法兰、接管开孔安装方式,增加罐体漏液隐患,对于 PFA、PP、石英材质的高纯槽罐来说,改造难度大、成本高。 

日本 KAMEOKA 龟冈 CLA-A03-1 静电电容传感器,主打罐外壁贴附式非接触液位检测,从根源上解决接触式液位检测的诸多痛点。传感器直接吸附、固定在储液罐外侧壁,无需开孔、不侵入腔体、全程不和药液接触。依靠静电电容感应原理,透过非金属罐壁感知内部液位变化,不管是纯水、光刻配套溶剂、蚀刻药液、清洗剂,都可以稳定监测,杜绝探头析出、杂质混入药液的风险,完美适配百级、千级无尘洁净车间。

该款传感器配套同系列 CLA-A02,结构紧凑小巧,占用空间小,安装十分灵活。只需要将感应探头贴紧罐壁对应位置,简单接线调试即可投入使用,后期检修、更换传感器时,不用排空罐内药液,无需停机放料,大幅减少停产损失与药液浪费。在产线改造项目上优势突出,原有非金属储液槽无需改动罐体结构,快速加装实现液位自动监控。 

很多高纯制程对材质、洁净等级要求严苛,普通液位器件容易产生离子析出、颗粒掉落,直接造成晶圆报废、产品不良。KAMEOKA CLA-A03-1 没有部件和药液接触,不存在腐蚀、溶出问题,长期运行稳定性强,漂移小,信号输出稳定,可直接对接 PLC、工控仪表,实现液位联动报警、补液启停控制,搭建自动化供液管控系统。

产品适配 PP、PVC、PFA、PTFE、玻璃、石英等非金属罐体,广泛应用于半导体湿法设备、清洗机药液罐、实验室供液系统、精细化工药剂储罐、锂电浆料辅料储槽等场景。
温馨提示:金属罐体无法使用该贴附式电容检测方案,选型时需要确认罐体材质。

相较于超声波、雷达液位计,KAMEOKA CLA-A03-1 不受液面泡沫、雾气、轻微晃动干扰;相比光电液位开关,它可以连续监测液位变化,不止是高低点位报警。兼顾洁净安全、低成本改造、免维护的多重优势,成为高纯药液供液系统里高性价比的液位检测方案。 

在洁净制造持续升级的当下,控制污染、降低停机维护成本是产线提质增效的关键。KAMEOKA CLA-A03-1 非接触电容液位传感器,以贴装式极简方案,为高纯、腐蚀性介质液位监测提供可靠选择,助力精密化工与半导体设备厂商打造更稳定、更洁净的供液工艺。

 
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