SWP-16-N 是日本爱发科 ULVAC 原厂皮拉尼（Pirani）真空规管，NW16（KF16）法兰接口，专为低真空～大气压区间高精度压力监测设计，适配 ULVAC 对应系列真空计主机，是半导体、光伏、真空热处理设备的标准真空监测配件，保障真空制程参数精准可控。
产品概述
SWP-16-N 是日本 ULVAC 爱发科原厂皮拉尼真空规管，专为粗真空区间压力监测设计，采用 NW16（KF16）标准快拆法兰接口，搭载铂灯丝结构，可稳定完成预抽真空、腔体排气阶段全程压力检测，广泛应用于半导体、光伏、镀膜、热处理等精密真空产线，是日系真空设备配套的原装标准真空传感器。
核心参数
型号：SWP-16-N
品牌：ULVAC 日本爱发科
类型：皮拉尼真空计规头
法兰规格：NW16（KF16）
测量范围：5.0×10⁻² Pa ～ 1.0×10⁵ Pa
灯丝材质：铂（Pt）灯丝
适配控制器：SW1-N、SW100N、SW100-A/R 等 ULVAC 原厂皮拉尼真空计
工作环境：温度 10℃~40℃，湿度 15%~80%（无结露）
合规标准：CE 认证，符合工业真空设备规范
核心产品优势
1. 宽量程精准监测，保障工艺稳定性
覆盖粗真空至大气压完整区间，精准监控腔体抽气全过程压力变化，保证每一批次产品工艺参数一致。采用铂灯丝材质，相比普通灯丝耐腐蚀性更强，可适配部分工艺气体环境，延缓老化，延长使用寿命，减少频繁更换带来的停机损失。
2. NW16 标准法兰，安装替换便捷可靠
通用 KF/NW16 快拆法兰结构，密封性能优异，拆装简单，适配绝大多数标准真空管路与腔体，可直接完成旧规管原位替换，无需改动原有管路布局，大幅缩短设备维保工时，适配洁净车间与量产产线使用。
3. 原厂精密结构，长期运行稳定抗干扰
遵循爱发科原厂工艺制造，结构抗振性强，适合长时间连续运行工况；信号输出稳定，配合专用控制器可实现精准读数，可接入 PLC 系统进行联锁监控与异常报警，保障真空制程安全运行，杜绝漏气、抽气异常等隐患。
4. 适配高端洁净制程，满足精密制造需求
可用于无尘车间环境，适配半导体封装、光伏电池制造、光学镀膜、精密器件加工等高洁净工艺，精准把控预抽真空工序，减少杂质残留，提升产品良率，适配进口真空设备原厂维修替换需求。
5. 标准化配套方案，降低整体运维成本
专用可替换规管设计，无需整体更换真空控制系统，仅更换规头即可恢复测量精度；原厂规格参数匹配度高，避免非适配配件造成读数偏差、工艺故障，保障整条产线运转效率。
主要应用场景
使用注意事项
需配合对应型号 ULVAC 真空控制器使用，安装完成后按规范进行零点与大气压校准，保证测量精度
定期检查 O 形圈密封状态，防止腔体漏气影响读数准确性
尽量避免高粉尘、强腐蚀气体直接持续冲击灯丝，延长规管使用寿命
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