上海玻纳刻科技有限公司自主研发的 8.6 代平板显示光刻机已成功完成交付验收，标志着国产高端显示装备在大尺寸面板领域实现了关键突破。作为专注于半导体与显示领域精密光刻设备研发的高新技术企业，玻纳刻科技凭借深厚的技术积淀，快速实现了从 2.5 代到 8.6 代全系列产品的市场覆盖。
大尺寸与高分辨率双突破 助力显示产业国产化
本次交付的 8.6 代平板显示光刻机，支持 2250mm×2600mm 超大尺寸玻璃基板，套刻精度达到 ±0.5μm，产能每小时 120 片，关键性能指标已媲美国际主流竞品。该设备将应用于国内 8.6 代 AMOLED 生产线的 TFT 阵列制造环节，可显著提升面板良率和生产效率，降低国产面板厂对进口设备的依赖。
除了传统 TFT-LCD 和 OLED 市场，玻纳刻科技在新兴的 Micro-LED 技术领域也取得了重大进展。公司自主研发的用于 Micro-LED 工艺的低成本高精度投影曝光机，创新采用半导体级小掩模技术，在大幅降低设备成本的同时，实现了 350 纳米的超高套刻精度，能够满足 Micro-LED 芯片制备、巨量转移对准等关键工艺的严苛要求。目前，该设备已获得国内头部面板厂的批量订单，累计交付量超过 10 台。
精密热控：显示光刻机性能提升的核心要素
在显示光刻技术不断向大尺寸、高分辨率方向发展的同时，设备的热控系统也面临着前所未有的挑战。随着玻璃基板尺寸从 6 代线的 1500mm×1850mm 扩展到 8.6 代线的 2250mm×2600mm，如何保证整个基板表面的温度均匀性成为决定光刻精度的关键因素。基板表面哪怕只有 1℃的温差，也会导致光刻胶固化程度不一致，进而影响图形分辨率和套刻精度。
同时，Micro-LED 工艺中广泛使用的厚胶光刻和低温键合技术，对热控系统的温度控制精度和响应速度提出了更高要求。厚胶工艺需要长时间的均匀加热，以避免出现 "表干里不干" 的现象；而低温键合工艺则要求在精确控制温度的同时，保证整个键合面的温度分布高度一致。
全球领先热控技术赋能国产装备升级
面对这些挑战，全球领先的精密热控解决方案提供商坂口电热 (SAKAGUCHI) 拥有超过百年的技术积淀，其产品能够完美适配显示光刻机的各种热控需求。坂口电热的大面积多区域独立控温加热板，可对 2250mm×2600mm 的玻璃基板进行分区精确加热，全域温差控制在 ±1.5℃以内，有效解决了大尺寸基板的温度均匀性问题。
针对厚胶工艺，坂口电热的远红外穿透式加热技术利用远红外线的穿透特性，能够实现光刻胶从内到外的均匀固化，大幅提升图形质量和边缘清晰度。而其超薄柔性聚酰亚胺加热膜，厚度仅 0.1mm，可完美贴合于工件台和吸盘表面，对翘曲基板进行均匀加热，有效抵消热变形带来的套刻误差。
此外，坂口电热还提供从室温到 1200℃的全温度范围加热解决方案，以及高精度的闭环温控系统，能够满足显示光刻机不同工艺环节的多样化热控需求。这些技术的应用，将进一步提升国产显示装备的性能和可靠性，推动中国显示产业向全球价值链高端迈进。
未来展望
随着全球显示产业向中国加速转移，以及 Micro-LED、柔性显示等新兴技术的快速发展，国产显示装备迎来了前所未有的发展机遇。玻纳刻科技表示，公司将继续加大研发投入，不断提升产品性能和技术水平，为客户提供更加优质的光刻设备和解决方案。同时，公司也期待与产业链上下游的优秀企业展开深入合作，共同构建自主可控的显示产业生态体系，为中国半导体和显示产业的高质量发展贡献力量。
我司深圳电商商业股份有限公司，是坂口电热品牌在中国区域的正规授权代理商。企业长期专注精密加热元器件供应链服务，熟悉半导体、精密制造等多领域工艺应用场景，积累了丰富的产品配套经验。
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