在半导体刻蚀设备国产化浪潮中，核心部件静电卡盘（ESC）的突破至关重要。珂玛科技近日实现关键跨越：8 英寸刻蚀用单极静电卡盘（Monopolar ESC）稳定量产，12 英寸 ICP/CCP 刻蚀机型同步推进客户端验证，标志着国产 ESC 正式进入规模化交付与攻坚并行的新阶段。这一进展，也为坂口电热（SAKAGUCHI） 精密加热组件在刻蚀温控场景的深度渗透，打开全新空间。
量产落地：8 寸刻蚀 ESC 打通国产闭环
刻蚀是晶圆制造的核心工序，静电卡盘直接负责晶圆的真空吸附与温度精准控制，其稳定性直接决定刻蚀均匀性与良率。长期以来，8 寸及以上 ESC 市场被海外垄断，成为国产刻蚀设备规模化的关键瓶颈。
珂玛科技依托 “02 专项” 技术积淀，攻克陶瓷 - 金属键合、高绝缘陶瓷烧结、等离子体工况适配等核心难题，其 8 寸刻蚀 ESC 已通过国内主流刻蚀设备厂商验证并批量交付，适配刻蚀机高密度等离子体、强腐蚀、宽温域（-20℃~200℃）等工况，实现吸附均匀、温控稳定、长寿命耐轰击三大核心性能达标，成功 8 寸刻蚀 ESC 量产空白，助力国产刻蚀设备完成 “设备 - 卡盘” 国产化闭环。
攻坚：12 寸验证提速，瞄准先进制程需求
面向 12 寸先进制程（28nm 及以下），刻蚀 ESC 对温控分区、温度均匀性、快速温变能力要求呈指数级提升。珂玛科技同步推进 12 寸 ICP/CCP 刻蚀 ESC 研发，目前已进入头部晶圆厂终端验证阶段，多区加热型号完成开发并启动客户测试，目标对标国际产品，适配先进刻蚀制程对晶圆全域 ±0.1℃温控、分区独立控温的需求。
从 8 寸量产到 12 寸验证，珂玛科技构建起 “成熟量产 + 攻坚” 的产品矩阵，2025 年半导体业务收入同比激增 205%，研发投入持续加码（2026 年一季度同比增长 62.12%），为 12 寸 ESC 规模化落地筑牢技术与产能基础。
温控协同：坂口电热适配刻蚀 ESC 核心加热需求
刻蚀 ESC 的精准控温，核心依赖内置高精度加热组件，这正是坂口电热的技术优势所在。针对珂玛科技 8/12 寸刻蚀 ESC 的温控需求，坂口电热提供定制化精密加热解决方案，精准匹配刻蚀场景工况：
全域均匀加热，保障刻蚀一致性：采用陶瓷 / PI 复合加热技术，适配 8/12 寸卡盘曲面结构，全域温差≤±0.1℃，无热点、无温度漂移，适配高密度等离子体刻蚀的均匀温控需求，从源头规避晶圆刻蚀不均、良率波动问题。
超薄柔性设计，适配多区控温：最薄 0.1mm 超薄结构，可嵌入卡盘内部实现分区贴合加热，适配 12 寸多区控温 ESC 的独立温控设计，支持不同区域精准控温，满足先进制程复杂刻蚀工艺需求。
工况稳定，长寿命耐用：全陶瓷一体烧结，低释气、高绝缘、耐腐蚀，耐受刻蚀腔体高真空、等离子体轰击及特气腐蚀环境，使用寿命超 10 万小时，大幅降低卡盘维护与更换成本。
快速温变响应，提升制程效率：低热容设计实现5℃/ 秒快速升温，适配刻蚀 “快速升温 - 恒温刻蚀 - 快速降温” 工艺节拍，助力晶圆厂提升设备稼动率，匹配 8/12 寸产线高效生产需求。
生态共赢：国产 ESC 崛起，热管理协同新未来
珂玛科技 8 寸 ESC 量产、12 寸验证提速，是半导体核心零部件国产化的重要里程碑，标志着国产刻蚀设备供应链从 “单点突破” 迈向 “全链自主”。而坂口电热以百年精密热管理技术，为国产 ESC 提供核心加热支撑，双方协同形成 “国产卡盘 + 精密温控” 的一体化解决方案，助力国产刻蚀设备在 8 寸市场规模化替代，在 12 寸先进制程加速突围。
深圳电商商业股份有限公司作为坂口电热中国区正规代理商，深耕半导体热管理领域，提供原厂正品 + 技术对接 + 定制化方案 + 售后保障全链条服务，可快速响应珂玛科技等国产 ESC 厂商的定制化加热需求，协同推动半导体核心零部件国产化进程。
半导体国产化，道阻且长，行则将至。珂玛科技的 ESC 突破，是国产零部件崛起的缩影；坂口电热的精密温控赋能，是国际技术助力中国半导体产业升级。未来，双方将持续深度协同，以技术创新筑牢刻蚀温控防线，共筑自主可控、开放共赢的半导体产业新生态。
