技术新闻

在半导体、精密光学、真空装备、检测仪器等制造领域，设备持续朝着小型化、高集成、高精度方向发展，生产工艺对加热组件的要求也愈发严苛。狭小的安装空间、微米级的控温需求、真空无尘的使用环境、全天候连续运行的作业模式，层层考验着加热元件的综合性能。长期以来，氧…

随着制造、半导体、精密镀膜、新能源及精密检测设备持续迭代，工业温控场景不再局限于常规恒温加热，越来越多设备需要面对超高温、温度骤变、高频振动、真空洁净、强腐蚀等复杂严苛工况。传统氧化铝、氮化铝、普通金属加热元件，在特殊工况下极易出现开裂、失效、温漂、析…

在半导体国产替代加速推进的关键阶段，深圳稳顶聚芯技术有限公司凭借自主研发的高精度步进式光刻机，打破国外技术垄断，成为化合物半导体、mini/microLED、光芯片及功率器件领域的核心装备供应商。其设备以纳米级套刻精度、强工艺适应性与高稳定性著称，而坂口电热全系列…

随着半导体、光学仪器、精密检测、真空装备等制造领域不断向小型化、高集成、高精度方向迭代，设备内部结构愈发紧凑，留给加热元器件的安装空间持续压缩。与此同时，工艺对加热单元也提出了多重严苛要求：既要体积小巧便于布局，又要升温迅速、温度均匀、控温精准，还要具…

微陶瓷加热器作为新一代精密微型加热元件，凭借体积小、升温快、温度均匀、洁净无挥发、寿命长等优势，已广泛替代传统电阻丝、PTC、薄膜加热片，成为半导体设备、精密仪器、医疗分析、自动化设备、光学检测等领域的主流加热方案。但由于微陶瓷加热器支持全尺寸定制、多材…

半导体制程与精密电子制造正迈向纳米级精度、环境适配、原子级工艺稳定性的新阶段。从 GAA 晶体管、3D NAND 堆叠到 High-NA EUV 光刻，全流程对温度控制的要求已压缩至0.1℃，传统加热元件因体积大、响应慢、均热性差、易污染等痛点，难以匹配先进制程需求。微陶瓷加热器…

在精密制造、半导体封装、医疗设备、分析仪器及微型自动化设备领域，传统电阻丝加热器、PTC加热器、薄膜加热器普遍存在升温滞后、温度均匀性差、体积偏大、热稳定性不足、寿命有限等痛点，无法适配狭小空间、精准控温、高频启停、低温差稳定加热的工况。微陶瓷加热器作为…

上海芯东来半导体科技有限公司作为国内专注于成熟制程光刻设备研发与产业化的高新技术企业，凭借对光刻技术的深度解析与 20 余年工程化积淀，构建了从设备整机研发、关键零部件国产化到二手设备翻新改造的全链条技术能力。公司以 "光刻机国产化" 为核心使命，瞄…

当传统硅基芯片的摩尔定律逐渐逼近物理极限，以先进封装、第三代半导体和新型显示为代表的 "超越摩尔" 技术，正成为全球半导体产业竞争的新制高点。上海芯上微装科技股份有限公司凭借其在光刻技术领域的深厚积淀，迅速成长为中国泛半导体装备国产化的核心力量。…

深圳市新凯来技术有限公司作为深圳市国资委全资控股的半导体装备企业，自成立以来便肩负着突破国外技术、打造自主可控半导体制造全产业链的历史使命。公司汇聚了行业顶尖研发团队，核心成员平均拥有 20 年以上半导体设备技术开发经验，在短短数年内迅速构建起覆盖半导体制…

一、国产光刻设备的热控技术挑战上海宇量昇科技有限公司作为国资控股的新型高科技企业，自 2022 年成立以来便专注于光刻设备及其核心系统的研发制造，是国家半导体设备国产化战略的重要力量。公司汇聚了行业顶尖人才，研发人员占比超过 90%，硕士博士比例达 60% 以上，在…