上海宇量昇科技有限公司（简称 “宇量昇 / UEA”）是 2022 年 7 月成立于上海浦东的国资控股半导体设备企业，核心聚焦DUV/EUV 光刻机及核心部件研发，为国家半导体国产化战略核心力量。

基本信息

成立时间：2022 年 7 月 29 日

法定代表人：刘君

注册资本：10 亿元（实缴 2 亿元）

股权结构：上海创科微（上海国资）与深圳新凯来（深圳国资 / 国家制造业基金）各持股 50%，实际控制人为浦东国资委 + 国家制造业基金（合计控制权超 60%）

地址：上海市浦东新区民冬路 500 号 1 幢

规模：300–499 人，研发占比超 90%，硕博 60%+

核心业务

专注193nm 浸润式 DUV 光刻机整机与EUV LPP 光源（光刻机核心 “心脏”）

DUV：对标 ASML NXT:2000i，支持 28nm，多重曝光可至 7nm

EUV：基于中科院上海光机所固体激光路线，规避 Cymer CO₂激光专利，光源转换效率达3.42%（商用 5.5% 的 62%）

核心优势

国资背书：深重投、上海科创、大基金三期等注资，2024 年融资超 50 亿元（含大基金三期 15 亿元专项）

技术协同：与中科院上海光机所、清华等深度合作，核心零部件国产化率高

高端团队：行业顶尖人才，覆盖光学、精密机械、控制、软件等领域

发展历程

2022 年：创立起步（国资强强联合）

7 月 29 日：上海创科微（上海科创投全资子公司）与深圳新凯来（深圳国资委背景）合资成立宇量昇，注册资本 10 亿元，定位高端光刻设备研发。

7 月：获深重投天使轮融资，启动DUV 整机 + EUV 光源双路线研发。

团队搭建：汇聚光学 / 精密机械 / 控制领域专家，硕博占比 60%+。

2023 年：技术攻坚（核心部件突破）

全年：聚焦 EUV 光源与 DUV 双工件台、光学系统研发，光源转换效率达 3.42%，达国际先进水平。

推进与中科院上海光机所技术协同，突破多项光学与热控关键技术。

2024 年：融资加速（国家队加持）

3 月：获大基金三期 15 亿元专项注资，用于光刻机核心部件研发。

全年累计融资超50 亿元，国资股东加持，产能与研发规模快速扩张。

11 月：完成 DUV 整机关键模块集成，进入整机联调阶段。

2025 年：里程碑突破（整机测试 + 产能扩张）

6 月 26 日：成立深圳分公司，深化华南产业链布局。

9 月 17 日：国产 DUV 光刻机重大突破，中芯国际启动试运行，设备支持 28nm，多重曝光可至 5–7nm，核心零部件国产化率高。

全年：研发团队扩至 300–400 人，专利 / 商标超 50 项，品牌 “宇量昇 / UEASCEND” 完成多类别布局。

2026 年至今：生态深化（供应链协同）

持续推进 EUV 光源工程化与 DUV 整机量产验证，加速国产替代。

与坂口电热等企业开展精密热控技术合作，提升设备纳米级稳定性。

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2026/6/15