上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE），2002 年 3 月 7 日成立于上海张江，是中国唯一专注于高端光刻机整机研发与量产的国企，主营半导体光刻设备，覆盖前道制造、先进封装、LED/MEMS三大领域。

基本信息

全称：上海微电子装备（集团）股份有限公司。

成立：2002 年 3 月 7 日，上海张江高科技园区。

性质：国有控股，隶属上海电气集团，国家级专精特新 “小巨人”。

使命：打破海外垄断，实现光刻设备自主可控。

核心产品与地位

前道光刻机：SSA600 系列（90nm~280nm）已量产；28nm 浸没式 DUV（SSA800）2025 年交付；EUV 极紫外预研中。

先进封装光刻机：全球市占约 37%、国内超 85%，领先全球；2.5D/3D 机型支撑 AI 芯片高端封装。

LED/MEMS 光刻机：全球市占超 55%，细分领域冠军。

客户与荣誉

客户：中芯国际、华虹、长电科技、三安光电等。

荣誉：国家技术创新示范企业、制造业单项冠军、02 专项核心承担单位。

发展历程

2002 年：公司成立，主攻光刻机 “卡脖子” 技术。

2009 年：首台先进封装光刻机 SSB500/10A 交付，打破海外垄断。

2012 年：SSB500 系列实现海外销售，进入国际市场。

2016 年：交付国内首台前道扫描光刻机，进入 IC 制造核心领域。

2017 年：02 专项 “浸没光刻机关键技术预研”“90nm 光刻机样机” 通过验收。

2018 年：90nm 干式 DUV 光刻机正式量产，填补国内空白。

2022 年：首台 2.5D/3D 先进封装光刻机发运，对标 AI 芯片高端需求。

2025 年

5 月：28nm 浸没式 DUV 光刻机（SSA800）首台交付，进入批量阶段。

10 月：工博会首次公开EUV 极紫外光刻机参数，预研取得关键进展。

12 月：中标 1.1 亿元高端光刻机采购，商业化落地加速。

2026 年：推进 28nm 机型良率提升与 EUV 技术攻关，巩固国产光刻龙头地位。

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2026/6/15