日本PURERON普瑞伦压力传感器PC-600系列

货号: PC-600系列

库存: 紧张

品牌: 日本PURERON普瑞伦

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陶瓷气体过滤器具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃ 高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10～200L/min

分类: 环境设备类, 日本PURERON普瑞伦,

产品详情

适合HBr，HCl等卤素系列反应性，腐蚀性特殊气体使用，气体接触部分采用哈司特镍合金，腐蚀性特殊气体专用的压力传送器
半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。

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