日本PURERON普瑞伦金属气体过滤器UCD-SB-02VR-71

货号: UCD-SB-02VR-71

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品牌: 日本PURERON普瑞伦

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陶瓷气体过滤器具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃ 高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10～200L/min

分类: 环境设备类, 日本PURERON普瑞伦,

产品详情

● 过滤器全部零部件均采用 SUS316L 不锈钢，无腐蚀以及产生二次副产物的风险，具备优异耐热性能。

● 通入氮气 (N₂)，过滤器入口压力 0.2MPa 工况下，出口压力损失 Δ0.05MPa，可实现 90SLM 流量。

● 在稳定流、脉动流动工况下，过滤精度 0.003μm / 0.0015μm，经 CNC 粒子计数器验证；可应用于亚微米 ULSI 制造，大幅提升产品良率。

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