日本PURERON普瑞伦气体过滤器UCF-SB-02VR ·P

货号: UCF-SB-02VR ·P

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品牌: 日本PURERON普瑞伦

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陶瓷气体过滤器具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃ 高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10～200L/min

分类: 环境设备类, 日本PURERON普瑞伦,

产品详情

低压力损失

● 氮气以 10L/min 流量、过滤器入口压力 0.1MPa 条件下流通时，出口侧压力损失 ΔP 仅为 0.01MPa，实现极低的压力损耗。

高过滤精度

● 具备 0.01μm 颗粒去除性能，有助于大幅提升亚微米级 ULSI 制造工艺的良率。

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