日本PURERON普瑞伦气体过滤器PGFL-2-02SW·PC07

货号: PGFL-2-02SW·PC07

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品牌: 日本PURERON普瑞伦

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陶瓷气体过滤器具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃ 高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10～200L/min

分类: 环境设备类, 日本PURERON普瑞伦,

产品详情

高过滤精度

在亚微米 LSI 制造工艺中，必须将原料气体以高纯度状态输送至使用点。为此，除了实现原料气体的高纯度化之外，管路系统的超洁净化也是关键重点。日本 PURERON（普瑞伦）为顺应这一时代需求，开发出滤芯元件采用陶瓷材质的全新过滤器。最终实现稳定可达0.003μm / 0.0015μm的超高过滤精度。

低压损

保留传统 PGF 系列的优异过滤性能，同时实现更低压力损失。在与原有 PGF 系列几乎完全相同的外形尺寸下，可以处理约2 倍的流量。

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