北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）创立于1958年，是国内专门从事电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点科研生产单位。45所以光学细微加工和精密机械与系统自动化为专业方向，以机器视觉技术、运动控制技术、精密运动工作台与物料传输系统技术、精密零部件设计优化与高效制造技术、设备应用工艺研究与物化技术、整机系统集成技术等六大共性关键技术为支撑，围绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与服务等五个重点技术领域，开发出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、先进封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品，服务于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业。

         经过多年的技术积累，特别是“十一五”以来的技术进步与创新，45所已经掌握了专用设备的自身规律和特点、专用设备开发与制造的基本思想和路径，攻克了六大共性关键技术，形成了十多种市场前景良好且拥有自主知识产权的产品，培养出了一支掌握正向系统设计思想与方法、理论水平高实际经验丰富、团队精神好、特别能战斗的科研、生产、市场开发和经营管理队伍，建成了较为完善的科研开发、工艺试验和生产制造平台。“十二五”期间，45所将在国家有关部委、北京市和亦庄开发区的支持帮助下，在集团公司的直接领导下，继续坚持推进人才兴所、核心技术拥有、质量领先、做实做精做强做大、系统服务和军民互动六大战略，不断提升特殊定制与快速保障、自主创新、系统集成与服务三种能力，实现材料加工设备、化学处理设备、光刻设备、平坦化设备、先进封装设备和电子图形印刷设备产业化生产制造，全面替代进口，批量化走向世界。

发展历程

1958 年：在天津始建，前身为天津电子管厂（代号七〇一工厂），从事电子管制造。

1966 年：响应国家 “三线建设”，整体搬迁至甘肃平凉，更名国营建华机械厂。

1975 年：转型为科研院所，定名平凉半导体专用设备研究所，正式切入半导体专用设备领域；同年研制成功中国首台精缩照相机，获国家科技进步一等奖。

1978–1990s：突破多项关键技术，1978 年研制首台图形发生器，1984 年首台分步光刻机，1993 年首台双面光刻机，奠定国内光刻设备技术基础。

1997 年：在河北燕郊设立分所，开启向东部产业集群转移的布局。

2000 年：科研生产主体从平凉迁至燕郊，产业化能力快速提升。

2010 年：注册地迁至北京经济技术开发区，更名北京半导体专用设备研究所（第二名称保留 “中国电子科技集团公司第四十五研究所”），形成北京总部 + 上海、平凉、燕郊控股公司的战略格局。

2012 年：全所主体正式入驻北京亦庄总部基地，完成战略转移。

2013 年：与中电科 2 所、48 所整合成立中电科电子装备集团有限公司，45 所成为核心研发单元。

“十四五” 至今：聚焦光刻机、离子注入机、CMP、先进封装等集成电路核心装备，承担 48 项国家级科研项目，申请发明专利 209 项，持续推动国产装备替代进口。

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2026/6/13